Az ipari kerámiák nagy keménysége és törékenysége miatt a hagyományos megmunkálási eljárások rendkívül bonyolultak, speciális folyamatokat igényelnek:
1. Alakítási technológia
Száraz sajtolás: Alkalmas egyszerű{0}}formájú alkatrészekhez, alacsony költséggel, de korlátozott pontossággal.
Fröccsöntés: bonyolult szerkezetek, például miniatűr kerámia fogaskerekek gyártásához nagy mennyiségű kötőanyag hozzáadása szükséges.
Öntés: Ultravékony{0}}kerámia hordozók előállítására (vastagság<0.1mm).
2. Szinterezési eljárások
Atmoszférikus nyomású szinterezés: Magas gazdasági hatékonyság, de kisebb sűrűség.
Meleg izosztatikus préselés (HIP): Javítja az anyagsűrűséget a nagy-nyomású argonkörnyezet révén, így az elméleti értékekhez közeli tulajdonságokat ér el.
3. Precíziós megmunkálási technológia
Gyémántcsiszolás: Gyémánt korongokat használ sík vagy ívelt felületek megmunkálásához, ±1 μm-es pontosságot érve el.
Lézeres megmunkálás: A femtoszekundumos lézerekkel mikron{0}}szintű fúrás érhető el, amelyet kerámia áramköri lapokon átmenő-lyukak készítésére használnak.
Ultrahangos megmunkálás: magas{0}}frekvenciás vibrációt használ az anyagok töréséhez, alkalmas rideg kerámiák, például cirkónium-oxid megmunkálására.
4. Felületkezelés
Kémiai mechanikai polírozás (CMP): Félvezető kerámia hordozófelületek nanoméretű síkosítására szolgál.
Bevonattechnológia: TiN bevonatok felhordása a szerszámfelületekre a kopásállóság javítása érdekében.
